光刻機(jī)巨頭ASML遇到了麻煩,老對手尼康突然發(fā)難,讓人摸不著頭腦,但細(xì)細(xì)想下來也確實(shí)如此。
作為集成電路制造過程中最核心的設(shè)備,光刻機(jī)至關(guān)重要,芯片廠商想要提升工藝制程,沒有它萬萬不行,中國半導(dǎo)體工藝為啥提升不上去,光刻機(jī)被禁售是一個(gè)主要因素。
尼康在其官網(wǎng)掛出的通告顯示,ASML、卡爾蔡司使用他們的技術(shù),所以需要立即停止浸式光刻設(shè)備銷售,并賠償相應(yīng)損失。
Intel、TSMC、三星、GF等芯片廠商目前都更青睞ASML的EUV光刻機(jī)(近乎獨(dú)占了這個(gè)市場),而這個(gè)領(lǐng)域曾經(jīng)的霸主之一尼康已經(jīng)被徹底邊緣化,這也是為何他們突然撕毀與ASML的專利互讓合約,起訴后者的主要因素。
對于尼康這樣的表現(xiàn),ASML表示依然愿意與他們通過私下來和解此事,不到萬不得已一定不會走法律程序。如果這件事繼續(xù)鬧到,Intel、TSMC、三星也不會同意,畢竟他們都直接投資了后者。
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